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LAM 4520B

8" wafer config.

1.Main Frame (1118*1372*1676mm)*1
2.AC Distribution Box(1000*1500*350mm)*1
3.CHILLER(2080TCU)(603*915*1403mm)*1
4.RF CART(559*229*762mm)*1
5.Dry Pump Chamber EBARA A70W*1
6.Dry Pump Loadlock EBARA A30W*1

Fully functional, still installed, no missing parts.


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